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產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品詳情
等離子去膠機(jī)原理
等離子去膠機(jī)原理同等離子清洗類似，主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應(yīng)來去除光刻膠，由于光刻膠的基本成分是碳?xì)溆袡C(jī)物，在射頻或微波作用下，工藝氣體氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。在反應(yīng)氣體中加入氮?dú)饣蛘邭錃饪梢蕴岣呷ツz性能、加強(qiáng)對(duì)殘留物的去除。與傳統(tǒng)的化學(xué)去膠方法相比，等離子去膠機(jī)具有更高的清潔效率和更少的環(huán)境污染。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，20個(gè)配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
uPLC工控機(jī)控制整個(gè)去膠過程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
u石英真空艙，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
u可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。
u采用花灑式多孔道進(jìn)氣方式，改變單孔進(jìn)氣不均勻問題。
u采用防腐數(shù)字流量計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?/span>、氫氣或混合氣等氣體。
uHEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
u處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。
u樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
u安全保護(hù)，艙門打開，自動(dòng)關(guān)閉電源，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。
2024-07-26 
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